針對無塵室清潔後淨度測試使用微粒計數器，落塵監測是代表一種具有成本效益的方式，可用這種方式來識別因落塵過度逸散的優先控制區域和其誤差值儀器須經校正合格且仍在有效期限內，於檢測前及交附報告時均須檢附合格之校正文件。 微粒計數器有不同規格，最常見的是流量1cfm，最小粒徑可測到0.3mm或是0.1mm，單位多是立方英呎。至於應使用何種機台，要依業主的規範而定。一般在產業界，多依以下方式選擇微粒計數器。檢測後會依據測驗結果,給予正式書面報告(本項目為另外加收費用,非含在無塵室清潔報價中)
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